奮起直追 推動高能離子注入機自立自強-中國(Country)電子科技集團有限公司

編者按：

電子強軍，科技報國(Country)。中國(Country)電科深入學習貫徹習近平總書記重要(Want)講話精神和(And)重要(Want)指示批示精神，秉承軍工電子主力軍、網信事業國(Country)家隊、國(Country)家戰略科技力量的(Of)使命責任，堅決履行強軍首責，聚力推動改革創新，用(Use)一(One)型型“大(Big)國(Country)重器”服務武器裝備現代化和(And)高水平科技自立自強。爲(For)展現電科人(People)爲(For)強國(Country)強軍事業的(Of)不(No)懈追求，特開設“中國(Country)電科與大(Big)國(Country)重器”專欄報道，今日推出(Out)報道“奮起直追 推動高能離子注入機自立自強”。

“成功了！成功了！”

　　仲夏深夜，在(Exist)北京東南方的(Of)中國(Country)電科所屬北京爍科中科信設備研發中心，傳來(Come)一(One)聲聲激動的(Of)呐喊聲，困擾研發團隊已久的(Of)高能離子注入機核心技術難關得到(Arrive)突破！幾日後，好消息傳來(Come)，由該團隊自主研制的(Of)國(Country)内首台高能離子注入機順利進駐國(Country)内先進集成電路大(Big)生(Born)産線。

　　高能離子注入機是離子注入機中技術難度最大(Big)的(Of)機型，是我(I)國(Country)集成電路制造裝備産業鏈上亟待攻克的(Of)關鍵一(One)環。

　　習近平總書記指出(Out)，突破“卡脖子”關鍵核心技術必須堅持問題導向，發揮新型舉國(Country)體制優勢，踔厲奮發、奮起直追，加快實現科技自立自強。

　　中國(Country)電科貫徹落實習近平總書記重要(Want)指示批示精神，發揮集團公司國(Country)家戰略科技力量重要(Want)作(Do)用(Use)，下定決心、保持恒心、找準重心，加快補齊産業鏈供應鏈短闆弱項，提升關鍵核心技術掌控力。

　　作(Do)爲(For)集成電路芯片制造的(Of)關鍵設備，離子注入機設備的(Of)研制難度極大(Big)、研制基礎薄弱。“決不(No)能讓芯片制造斷鏈短鏈！”懷揣裝備報國(Country)的(Of)理想，研發團隊正式向關鍵裝備研制發起了挑戰，經過艱苦努力，在(Exist)成千上萬遍實驗模拟後，實現了中束流、大(Big)束流、高能、特種應用(Use)及第三代半導體等全譜系離子注入機自主創新發展，大(Big)幅縮小了與國(Country)際一(One)流水平差距。

　　聚焦全産業鏈，高端裝備産業化也已然邁出(Out)新步伐。中國(Country)電科董事長、黨組書記陳肇雄強調，要(Want)充分發揮電子信息領域完整産業鏈優勢，統籌戰略需求，保持恒心定力，補齊短闆弱項，強化“非對稱”趕超戰略思維，以(By)長補短、換道超車，堅決打赢關鍵核心技術攻堅戰。

　　堅持推進高水平科技自立自強澎湃向前。近年來(Come)，中國(Country)電科積極布局集成電路制造裝備、三代半導體等一(One)批重點産業領域，成效顯著：圍繞支撐集成電路産業發展的(Of)電子制造裝備領域、電子功能材料領域，中國(Country)電科已形成離子注入機、化學機械平坦化設備（CMP）等拳頭産品，集成電路關鍵制造裝備産業規模化、産品系列化步伐明顯加快，關鍵領域保障能力不(No)斷增強，有效提升産業鏈供應鏈現代化水平；聚焦半導體制造、半導體應用(Use)，中國(Country)電科連續攻克數百項關鍵核心技術，填補了産業鏈空白；着力打造國(Country)産集成電路和(And)三代半導體裝備驗證平台，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務核心競争力優勢不(No)斷提升。

　　未來(Come)，中國(Country)電科将繼續瞄準國(Country)家重大(Big)戰略需求，在(Exist)關鍵核心技術上全力攻堅，爲(For)高水平科技自立自強作(Do)出(Out)更大(Big)貢獻。