勇擔使命，向着極精細世界邁進-中國(Country)電子科技集團有限公司

　　設備生(Born)産有條不(No)紊、機台調試精益求精、技術叠代有序展開……當下，中國(Country)電科所屬爍科中科信正同步生(Born)産調試13台離子注入機，設備制造與工藝調試雙管齊下，生(Born)産一(One)線熱火朝天。

　　離子注入機是芯片制造的(Of)關鍵裝備。目前，爍科中科信自主研制出(Out)中束流、大(Big)束流、高能、特種應用(Use)及第三代半導體等多類型離子注入機，實現了我(I)國(Country)芯片制造領域全系列離子注入機創新發展。2023年開年，設備訂單總額突破2億元，行業認可度持續攀升。

　　“離子注入機具有專業性強、涉及學科多、精密化程度高等特點，研制難度極高。”技術人(People)員回憶研發過程，依然動容。

　　兩萬五千多個(Indivual)硬件7×24小時(Hour)密切配合，軟件系統高速運轉，要(Want)讓束流時(Hour)刻保持在(Exist)特定的(Of)高能量，精準地注入到(Arrive)矽片的(Of)指定區域，不(No)能有一(One)絲卡頓……這(This)隻是高能離子注入機工程化的(Of)“基礎套餐”。

　　要(Want)實現這(This)些極端嚴苛要(Want)求，需要(Want)一(One)個(Indivual)關卡接一(One)個(Indivual)關卡地闖。其中就有将高能量束流均一(One)性指标提高0.5%。

　　千萬别小看這(This)0.5%的(Of)改變！它需要(Want)項目團隊不(No)眠不(No)休地與影響均一(One)性的(Of)5項關鍵指标“死磕”，修改5000多次程序。每次從實驗室出(Out)來(Come)，技術人(People)員在(Exist)無塵服的(Of)包裹下都汗流浃背，來(Come)不(No)及擦拭，就又奔向辦公室，總結實驗數據。

　　最終，項目組如願實現技術指标，又接連突破高能離子加速技術等核心技術難關，各項工藝指标均達要(Want)求。目前，高能離子注入機已進入産線工藝驗證的(Of)最後階段。

　　技術突破是多方面的(Of)。高溫注入工藝的(Of)成功研發是另一(One)個(Indivual)标志性成果。

　　爲(For)推進研發進度，項目組紮根實驗室，将原理創新與局部驗證相結合，對整個(Indivual)溫控流程進行數十次仿真驗證，最終實現在(Exist)高溫時(Hour)，設備仍能對晶圓均勻吸附，且能夠保障高效穩定傳輸的(Of)目标。同時(Hour)，爲(For)了保障獲取更加精準的(Of)工藝參數，測試人(People)員在(Exist)高溫設備旁對幾十道加熱工藝進行上百次測試實驗，爲(For)快速推算工藝參數提供了可靠的(Of)數據支撐。

　　功夫不(No)負有心人(People)，事關實驗成功與否的(Of)一(One)組關鍵參數從開始的(Of)偏離理想值，到(Arrive)逐漸無限接近，直至通過嚴密論證，達到(Arrive)高溫注入的(Of)工藝要(Want)求，實現控制精度和(And)作(Do)業速度的(Of)雙赢。

　　目前，技術提升在(Exist)系列産品中遍地開花，中束流設備模組交付形式已步入正軌，大(Big)束流設備已實現與國(Country)際先進機台對标，大(Big)幅提升産品的(Of)市場核心競争力。

　　“發展國(Country)産裝備，鑄就國(Country)芯基石。”項目組夢想不(No)停步，繼續勇攀工藝制程新高度，提高設備生(Born)産效率，帶動産業鏈發展。